О мероприятии

27 апреля 2026 года были официально подведены итоги работы секции микроэлектроники 68-й Всероссийской научной конференции МФТИ, посвященной 130-летию со дня рождения академика Н. Н. Семёнова. [1]

Сами заседания секции проходили очно 1–2 апреля 2026 года в Зеленограде на базе АО «НИИМЭ» — базовой организации кафедры микро- и наноэлектроники ФЭФМ МФТИ. [1, 2]

Ключевые итоги и показатели секции:

• Масштаб: заслушано 52 доклада в рамках четырех очных сессий.

• Участники: студенты, аспиранты, молодые ученые МФТИ и 6 докладчиков из внешних научных организаций.

• Тематика: плазмохимические процессы, атомно-слоевое осаждение (ALD) и травление (ALE), моделирование полупроводниковых структур и фотоника.

• Руководство: председатель программного комитета секции — академик РАН Е. С. Горнев. [1, 2, 3, 4]