О программе

Программа направлена на изучение технологических процессов нанесения и травления материалов с использованием вакуумно-плазменных технологий (ВПТО) в микроэлектронике и микросистемной технике. Слушатели ознакомятся с физико-химическими процессами, включая вакуумирование, плазмообразование, активацию газов и взаимодействие с материалами. В программе также рассматриваются конструктивно-технологические особенности современного оборудования ВПТО, отечественные и зарубежные решения. Практическая часть включает исследование компонентов ВПТО, разработку технических требований и использование программ для моделирования процессов и устройств.