Подготовка кремниевых пластин и контроль их параметров
О программе
Цель программы – формирование профессиональных компетенций в области исследования и контроля параметров кремниевых пластин.
Категория слушателей – инженеры, бакалавры, магистры, аспиранты, научные сотрудники в области материаловедения и технологии материалов, а также студенты получающие высшее образование.
Программа состоит из 8 модулей (72 ак. часов):
Кристаллография. Основные понятия и определения;
Методы выращивания монокристаллов кремния;
Технология изготовления пластин кремния и эпитаксиальных структур;
Специфика контроля качества в технологии микроэлектроники. Международные стандарты SEMI и ASTM;
Геометрические параметры кремниевых пластин и их контроль;
Структурные параметры и их контроль;
Контроль химического состава;
Контроль электрических характеристик.